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美国伦斯勒理工学院与普利斯特公司合作,近日开发出了一种低成本、可快速干燥的新型聚合物。利用这种材料可大幅降低半导体制造与电脑芯片封装的成本并提高效率。这种被称为环氧硅氧烷聚酯树脂(PES)的新材料,使新一代低成本芯片纳米压印光刻技术成为可能。
据了解,芯片制造商采用这种新材料,能削减从生产到封装过程中的数个生产步骤,从而降低成本。 同时,PES的固化温度为165℃,比传统材料低35%,因此制造过程中需要的热更少。PES的另一项优势是吸水性相反时,加强温度梯度虽然扩大了热扩散的阻力,但可以增强传热,物料温度提高,湿扩散得以增加,故能加快干燥,b,使热扩散与湿扩散方向一致,即设法使物料中心温度高于表面温度,如远红外加热、微波加热方式,c,降低介质的总压力,有利子提高湿扩散系数,从而提高湿扩散速率, d,减薄坯体厚度,变单面干燥为双面干燥,e,其他坯体性质和形状等方面的因素。 最后,我们需要加快传热速率。要做到:a,增加传热面积:如改单面干燥为双面干燥,分层码坯或减少码坯层数,增加于与热气体接触面; b,提高干燥介质温度,如提高干燥窑中的热气体温度,增加热风炉等,但不能使坯体表面温度升高太快,避免开;c,提高对流传热系数。
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